水系统: 由新设的二次泵将二次冷水在空调器、 冷水槽之间循环。
加湿系统: 采用蒸汽作为加湿源。
5. 洁净系统自动控制
冷热水系统设置三通阀根据回水温度感知洁净车间的负荷变化, 为系统提供适合的冷热量。过滤系统(包括高效、 中效、 初效过滤器)设置压差控制装置以便适时更换阻力过大的过滤装置。蒸汽加湿器设置控制系统, 根据洁净车间的湿度变化控制进入加湿器蒸汽量。系统连锁控制: 基本控制是当风机停止时, 所有的水阀、 风阀随即关闭。
6、 试运行和洁净度测试
无尘车间安装工程完成后进行了认真的清扫, 经过二天的试运行, 开始了洁净度测试, 将洁净车间均匀布置了 20 余个测试点, 测试结果证实符合设计要求。