6、电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5pa
7、电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值：
8、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
9、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
10、电子制造行业洁净室净化空调系统加热器，应设置新风，超温断电保护，若采用点加湿时应设置无水保护，寒冷地区，新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量，
应取下面三项最大值：
1：保证电子制造厂无尘车间洁净室空气洁净度等级的送风量；
2：根据热，湿负荷计算确定电子厂无尘车间洁净室的送风量；
3：向电子制造厂洁净室内供给的新鲜空气量。
详细设计要点请联系合洁科技半导体车间建设工程师
洁净车间工程示例如下：
135 2798 0000
地址：东莞市东纵大道盈锋商务中心a座（合景集团）
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