1、配电:十万级电子洁净车间洁净室(区)的主要生产用房,一般照度值宜≥300lx;辅助工作室、人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等的照度值宜为200~300lx。
2、十万级电子洁净车间压差:相同洁净度等级的洁净室压差保持一致,对于不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要≥5pa,洁净室与非洁净室之间要≥10pa。万级无尘车间对温度、湿度无特殊要求时,以穿着洁净工作服不产生舒服感为宜,温度一般控制在冬季20~22℃;夏季
24~26℃;波动±2℃。冬季洁净室湿度控制在30-50%,夏季洁净室湿度控制在50-70%。
3、十万级噪声控制:(1)动态测试时,万级洁净室内的噪声级不应超过70分贝a;(2)静态测试时,万级乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝。
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