(3)空气过滤系统：车间内的空气过滤系统应采用高效过滤器和hepa过滤器，以过滤空气中的微小颗粒物质和细菌等有害物质。
装修要点
(1)地面：车间内的地面应采用防静电地板，以防止静电对芯片产生影响。
(2)墙面和天花板：车间内的墙面和天花板应采用无尘材料，以减少灰尘和微小颗粒物质的产生。
(3)照明系统：车间内的照明系统应采用无尘灯具，以减少灰尘和微小颗粒物质的产生。
(4)设备和工具：车间内的设备和工具应使用专业的无尘设备和工具，以减少灰尘和微小颗粒物质的产生。
(5)空调系统：车间内的空调系统应采用专业的空调设备，以控制车间内的温度和湿度。
(6)门窗：车间内的门窗应采用无尘门窗，以减少灰尘和微小颗粒物质的进入。
以上是规划设计建造平面布局和装修要点的主要内容，需要根据实际情况进行具体的设计和建造。同时，还需要注重车间的维护和管理，以确保车间的空气质量达到无尘要求。
因篇幅问题，仅供参考，希望对您有所帮助，具体详细方案可访问我们合洁科技电子净化工程的网站进一步了解，我们会为您持续讲解洁净工程施工流程，介绍洁净工程各项要求以及解读各类电子洁净车间标准。
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