3、设备误动作：静电可能干扰精密电子设备的正常工作，引发设备故障或数据错误。
针对以上危害，半导体洁净车间的静电防护措施主要包括以下几个方面：
1、整体布局与装修：采用防静电建材，包括防静电地板、墙面和天花板，确保整个空间具备良好的静电耗散和接地功能。
2、人体静电防护：作业人员穿着全套防静电工作服、防静电鞋以及防静电手套等个人防护装备，并且通过防静电手腕带将人体静电直接导至大地。
3、湿度控制：通过恒温恒湿系统确保车间内的相对湿度在适宜范围内(如40%-60%rh)，以减少因干燥空气造成的静电累积。
4、静电消除设备：安装离子风机、离子风枪、离子风嘴、离子风蛇等静电消除设备，对工作区域进行实时静电中和。
5、生产设备接地：所有生产设备、工具和物料传输系统均需有效接地，确保静电能够迅速释放。
6、包装与运输防静电：使用防静电包装材料存储和运输半导体元件，避免在搬运过程中的静电积累和放电。
7、静电监控与测试：定期对车间的静电控制设施及工艺环节进行静电测试和评估，确保防静电体系的有效性和持续性。
通过采取这些防护措施，可以有效减少中静电带来的危害，确保生产过程的顺利进行，保障产品质量和人员安全。
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