半导体无尘车间的特点标准及建设方案 -凯发国际网址官网查询

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半导体净化车间


  半导体车间洁净室的施工要求:

  由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。

  例如

  1、电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65db(a)

  2、电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。

  3、电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5pa

  4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

  5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

  6、净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。

标签: 无尘车间 , 半导体无尘车间
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